关键词：磁控溅射；磁场分析；粒子群优化算法；非支配排序遗传算法；多目标优化；Pareto解集中图分类号：TN305.8-34；TP391 文献标识码：A 文章编号：1004-373X（2025）24-0036-05

Analysis and optimization of com（试读）...