中图分类号：TB44；TQ324.8
文献标志码：A
随着电子技术的飞速发展，电子元件的特征尺寸越来越小，制造半导体芯片须要使用结构复杂的微机电系统和集成电路，芯片制造过程须要在电子工业洁净厂房（洁净厂房）这种受控（试读）...
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