中图分类号：TB9；TB4
文献标志码：A
晶圆表面缺陷会严重影响半导体器件的质量和成品率，导致一半以上的材料损失，其中颗粒污染是导致功能成品率损失的主要原因[1]。为了保证成品率，控制生产成本，须要在半导体生产（试读）...
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