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什么是光刻机-发明与创新(中旬刊)2026年01期

什么是光刻机

作者:王梦 屈文煊 字体:      

我们每天都在用的手机、电脑,它们的“大脑”其实是一颗小小的芯片。而制造这些高精尖的芯片,离不开一台超级精密的机器一光刻机。那么,什么是光刻机呢?

光刻机被誉为“工业母机中的明珠”,谁掌握了最顶尖的光刻机(试读)...

发明与创新(中旬刊)

2026年第01期