中图分类号：TH161+.11 文献标志码：A文章编号：1006-0316（2025）10-0074-07

doi：10.3969/j.issn.1006-0316.2025.10.012

在超精密加工领域，微结构的加工精度极大影响着最终产品的性能[1]。为确保高精度的加工质量（试读）...