摘要：SECS/GEM通讯是应用于半导体制造设备和半导体工厂MES之间的通讯标准，半导体设备接入工厂的半导体MES，需要半导体设备按照SECS/GEM相关标准协议的要求实现通讯。为此，基于对SECS/GEM标准协议的研究分析，应用（试读）...
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